第1章 半導體芯片製造概述
1.1 概述
1.1.1 半導體產業概況
1.1.2 半導體晶圓製造系統特征
1.1.3 半導體晶圓製造系統調度現狀
1.2 半導體晶圓製造系統簡介
1.2.1 半導體晶圓製造過程
1.2.2 生產績效指標
1.3 半導體晶圓製造系統建模研究
1.3.1 研究狀況簡介
1.3.2 建模方法小結
1.4 半導體晶圓製造系統調度方法
1.4.1 啟發式規則
1.4.2 數學規劃法
1.4.3 計算智能
1.4.4 人工智能
1.4.5 規則組合調度方法研究現狀
1.4.6 SWFS調度方法小結
參考文獻
第2章 基於拓展型面向對象Petri網的SWFS建模與分析
2.1 引言
2.2 拓展型面向對象Petri網的定義
2.2.1 EOPNs的定義
2.2.2 對象
2.2.3 對象互連機製
2.3 EOPNs的建模過程
2.3.1 單個設備的OPN模型
2.3.2 工作站的EOPNs模型
2.3.3 加工區域的EOPNs模型
2.3.4 系統的EOPNs模型
2.4 系統建模案例
2.5 EOPNs模型的動態性能分析
2.5.1 死鎖分析
2.5.2 EOPNs模型的沖突分析
2.6 小結
參考文獻
第3章 基於賦時EOPNs模型的自治與協調實時派工機製
3.1 引言
3.2 “建模-控製-仿真”一體化方法
3.3 基於賦時EOPNs的SWFS性能建模
3.4 基於賦時EOPNs的實時狀態監控系統
3.4.1 晶圓加工機器的實時狀態監控器
3.4.2 在製品緩沖區和自動存取機的實時狀態監控器
3.5 基於自治與協調的實時派工機製
3.5.1 基於賦時EOPNs模型的混合式實時派工控製系統
3.5.2 基於自治與協調的實時派工機製
3.5.3 基於自治與協調的動態瓶頸實時派工算法
3.5.4 其他算法在基於自治與協調實時派工機製下的應用
3.6 小結
參考文獻
第4章 芯片製造系統仿真平臺及仿真分析
4.1 引言
……
第5章 芯片製造系統產能規劃
第6章 基於規則組合的自適應優化調度方法
第7章 芯片製造系統智能調度方法
第8章 面向瓶頸控製的SWFS調度方法
第9章 SWFS的時變多目標生產調度方法