第1章　緒論
　1.1　無線通信系統的發展對射頻器件的要求
　1.2　薄膜體聲波諧振器的原理和特點
　1.3　薄膜體聲波諧振器的結構和材料
　　1.3.1　薄膜體聲波諧振器的結構
　　1.3.2　薄膜體聲波諧振器的材料
　1.4　薄膜體聲波諧振器的研究進展
　參考文獻
第2章　固體中的平面波
　2.1　固體中平面聲波方程
　　2.1.1　彈性形變的基本方程
　　2.1.2　彈性體中的平面聲波方程
　2.2　各向同性介質中的平面聲波
　2.3　各向異性介質中的平面聲波
　　2.3.1　色散關系和倒速度面
　　2.3.2　波方程求解舉例
　2.4　壓電介質中的平面聲波
　2.5　六方晶系介質中?聲平面波
　參考文獻
第3章　薄膜體聲波諧振器的理論模型
　3.1　理想薄膜體聲波諧振器的電學阻抗
　　3.1.1　理想諧振器阻抗的解析表達
　　3.1.2　薄膜體聲波諧振器的諧振頻率
　3.2　復合結構薄膜體聲波諧振器的電學阻抗
　　3.2.1　聲阻抗的定義
　　3.2.2　復合模型的邊界條件
　3.3　薄膜體聲波諧振器的損耗和性能參數
　3.4　薄膜體聲波諧振器的機電等效模型
　　3.4.1　各層材料的等效模型
　　3.4.2　普適機電等效模型
　　3.4.3　諧振點附近的近似等效電路
　3.5　諧振器材料和結構對性能的影響
　　3.5.1　電極材料和厚度的影響
　　3.5.2　支撐層和殘余背矽層的影響
　參考文獻
第4章　壓電薄膜的製備方法
　4.1　真空蒸發澱積
　　4.1.1　真空蒸發澱積特點與蒸發過程
　　4.1.2　蒸發過程的重要參量
　　4.1.3　蒸發源的蒸氣發射特性
　　4.1.4　加熱源的類型
　　4.1.5　反應蒸發
　　4.1.6　分子束外延
　4.2　濺射沉積
　　4.2.1　濺射的基本原理
　　4.2.2　濺射產額
　　4.2.3　反應濺射
　　4.2.4　射?濺射
　　4.2.5　磁控濺射
　4.3　化學氣相澱積
　　4.3.1　化學氣相澱積的特點
　　4.3.2　化學氣相澱積的基本過程和化學反應
　　4.3.3　金屬有機氣相化學澱積
　　4.3.4　CVD的裝置
　4.4　脈沖激光沉積技術
　　4.4.1　脈沖激光沉積的原理和特點
　　4.4.2　激光光源
　　4.4.3　沉積系統
　參考文獻
第5章　AlN薄膜的濺射沉積和刻蝕
　5.1　射頻磁控濺射製備AlN薄膜
　　5.1.1　AlN薄膜的製備工藝
　　5.1.2　射頻功率對薄膜結構的影響
　　5.1.3　氣氛壓強和比例對薄膜晶體結構的影響
　　5.1.4　襯底溫度對薄膜晶體結構的影響
　　5.1.5　AlN薄膜的微觀形貌和成分
　　5.1.6　AlN薄膜的生長機製
　　5.1.7　濺射AlN薄膜的應力
　5.2　在不同電極上沉積的A1N薄膜的結構特性
　5.3　氟基氣體對AlN薄膜的反應離子刻蝕
　　5.3.1　AlN薄膜的幹法刻蝕方法
　　5.3.2　刻蝕速率
　　5.3.3　刻蝕圖形形貌
　　5.3.4　氟基氣體對AlN薄膜的刻蝕機理分析
　5.4　AlN薄膜的濕法刻蝕
　　5.4.1　實驗過程
　　5.4.2　薄膜織構和晶體?量對濕法刻蝕速率的影響
　　5.4.3　刻蝕反應的激活能
　　5.4.4　刻蝕圖形形貌
　參考文獻
第6章　橫膈膜型薄膜體聲波諧振器
　6.1　橫膈膜型諧振器的結構和測試方法
　　6.1.1　橫膈膜型諧振器的結構
　　6.1.2　測試器件的電極形狀和測試方法
　6.2　橫膈膜型諧振器的製作過程
　6.3　PZT壓電薄膜的製備和性質
　　6.3.1　溶膠凝膠法製備PZT
　　6.3.2　PZT薄膜的結構和性質
　6.4　橫膈膜型諧振器的工藝過程
　　6.4.1　光刻工藝
　　6.4.2　PZT膜的刻蝕
　　6.4.3　二氧化矽的刻蝕
　　6.4.4　矽的刻蝕
　6.5　PZT橫膈膜型諧振器的性能測試
　　6.5.1　諧振器的測試結果
　　6.5.2　器件性能分析
　參考文獻
第7章　固體裝配型體聲波諧振器
　7.1　固體裝配型諧振器的設計
　　7.1.1　固體裝配型諧振器的結構
　　7.1.2　固體裝配型諧振器的理論模型
　　7.1.3　固體裝配型諧振器頻率響應的模擬
　7.2　AlN固體裝配型諧振器的製備
　　7.2.1　布拉格反射層
　　7.2.2　固體裝配型諧振器的製備工藝
　　7.2.3　AlN薄膜的結?和形貌
　　7.2.4　多層薄膜的應力
　7.3　固體　裝配型諧振器的性能測試
　　7.3.1　固體裝配型諧振器的S11參數
　　7.3.2　固體裝配型諧振器的阻抗特性
　　7.3.3　固體裝配型諧振器的性能參數
　參考文獻
第8章　薄膜體聲波諧振器在射頻濾波器中的應用
　8.1　薄膜體聲波濾波器的基本拓撲結構
　8.2　梯形拓撲結構的薄膜體聲波濾波器
　　8.2.1　薄膜體聲波濾波器的工作原理
　　8.2.2　梯形拓撲薄膜體聲波濾波器的設計
　　8.2.3　聲學耦合的薄膜體聲波濾波器
　8.3　PCS　CDMA接收濾波器的設計實例
　8.4　基於FBAR的雙工器與振蕩器
　　8.4.1　基於薄膜體聲波諧振器的雙工器
　　8.4.2　基於薄膜體聲波諧振器的振蕩器
　　8.4.3　FBAR的片上集成
　參考文獻
第9章　基於薄膜體聲波諧振器的高靈敏傳感器
　9.1　壓電石英晶體微天平傳感器
　　9.1.1　石英晶體微天平
　　9.1.2　壓電晶體的傳感原理
　　9.1.3　壓電晶體諧振傳感器的測量方法
　9.2　壓電晶體傳感器的敏感材料
　　9.2.1　吸附敏感材料的要求與作用機理
　　9.2.2　敏感材?的塗覆方法
　　9.2.3　壓電晶體傳感器的應用
　9.3　碳納米管敏感材料
　　9.3.1　碳納米管的吸附性能
　　9.3.2　碳納米管作為吸附層的應用
　9.4　基於薄膜體聲波諧振器的傳感器
　　9.4.1　薄膜體聲波諧振器的傳感原理
　　9.4.2　傳感器的MBVD電路
　　9.4.3　薄膜體聲波諧振器的物質檢測
　　9.4.4　基於薄膜體聲波諧振器的其他檢測
　9.5　基於碳納米管敏感材料的FBAR傳感器
　　9.5.1　碳納米管敏感層的形成方法
　　9.5.2　FBAR傳感器的實例
　　9.5.3　傳感器頻率的質量敏感性
　　9.5.4　傳感器對碳納米管層沉積的頻率響應
　　9.5.5　傳感器對碳納米管層吸附的頻率響應
參考文獻
索引